半導體產(chǎn)業(yè)中的檢測設備，主要用于檢測產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中和成品產(chǎn)出后的各類性能是否達到當初IC設計廠的要求。而檢測設備主要包含工藝檢測（線上參數(shù)測試）、晶圓檢測（CP 測試）、終測（FT 測試）。
大陸相關(guān)企業(yè)目前主要在晶圓檢測和終測領(lǐng)域有較活躍的發(fā)展。而這兩大環(huán)節(jié)的檢測設備價值量約占整體半導體制造設備產(chǎn)值約9% 左右。
目前全球半導體檢測設備產(chǎn)業(yè)主要呈現(xiàn)美商Teradyne、日商Advantest 兩家壟斷的局面。雖然檢測設備相對于晶圓代工設備，如光刻、刻蝕等設備而言，制造技術(shù)難度低。但檢測設備涉及到度量衡標準，因此仍能形成強大的技術(shù)壁壘。
大陸檢測設備制造商則是以長川科技、北京華峰、華興源創(chuàng)等公司各自在不同細領(lǐng)域中尋求突破，以分食這些國際大廠在大陸的市場份額。
根據(jù)SEMI估算，2018～2020年中國半導體制造設備投資額約為人民幣 1550億元、人民幣 1604億元、人民幣 1702億元。
依照過去經(jīng)驗，檢測設備約占總設備投資的17%（其中，晶圓檢測部份為9%，過程工藝控制為8%）。因此，2018～2020年中國大陸檢測設備需求分別為人民幣 264億元、人民幣 273億元、人民幣 289億元。但隨著中國測試成本比重逐年升高，實際需求有機會超過歷史經(jīng)驗。
此外，SEMI最新預估指出，由于智能手機和存儲市場需求低迷，2019年半導體設備產(chǎn)值將年減18%，達527億美元。不過，隨著存儲市場投資復蘇和大陸新建及擴建產(chǎn)能，預計2020年設備銷售額將年增12%，達588億美元。
SEMI 指出2017～2020 年全球62 座新投產(chǎn)的晶圓廠中有26 座來自中國大陸，占全球總數(shù)42%。同時，SEMI 也預計中國將成為全球半導體制造設備的最大市場。
由于全球半導體產(chǎn)業(yè)重心漸漸偏向中國，這對于中國大陸本土設備制造商是一項利多。目前長川科技、北京華峰、精測電子、華興源創(chuàng)等都已經(jīng)布局研發(fā)測試機臺，其中，長川科技主要布局在功率元件測試機，且已經(jīng)對我國本土封測廠出貨。
精測電子則聯(lián)合三星供應商IT&T，打入中國存儲和面板驅(qū)動芯片檢測設備市場。至于，科創(chuàng)板新星- 華興源創(chuàng)主要布局在SoC 測試機領(lǐng)域。
不過整體而言，大陸測試設備制造仍在起步階段，高階機臺要突破美、日大廠仍需一段較長的期間。